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第630章 造不如买 (1 / 5)

既然猜到了曲慧极有可能是在双工件台技术上取得了突破,苏远山接下来可就真有点坐不住了。

但他太了解曲慧了。

这姐妹儿,干练豪爽不说,还古灵精怪……既然打定主意要给自己兜圈子,那自己怎么问都是没个结果的。

好在一小时并不长,当他打开一篇最新的石墨烯领域的paper后,时间便迅速流逝起来。

嗯,主要是他现在难得遇到一篇不灌水的石墨烯论文。

……

一小时后,曲慧与郑振川如约而至。

“郑叔,慧姐,好久不见。”苏远山早已在客座沙发旁等着,就连茶都已经准备好了。

“嗯,是有不少时间了。”曲慧出乎意料地留了头发,还梳了个马尾,脖子上围着丝巾。她笑呵呵地坐到苏远山对面。

“这下可以说了吧,到底是什么惊喜――别让我猜啊。”

“其实就是工件台成了。”曲慧一副云淡风轻的表情,端起茶杯吹了口气后笑眯眯地道:“你猜到了是吧?”

“你和郑叔一起过来,不是光刻机的事还能是啥?”苏远山一摊手,笑道:“让我干等了一个小时,再惊的喜也给整没了。”

“害!我就应该给周小慧偷偷打个电话问一下的――对了,周小慧呢?”

“不知道,估计是在天驹那边吧。今天德仪那边刚好有人过来,她去接待一下。”苏远山顿了顿,望向郑振川:“郑叔,别告诉我,你们已经将工件台用在光刻机上了。”

“哈哈,当然没有。”

郑振川放下茶杯,冲苏远山乐道:“你先听小曲的,等会我再说。”

“嗯……”苏远山听到郑振川这语气,顿时心中多了几分“警惕”起来。

这老爷子,语气听起来不对呐!

感情这次不是单纯的“报喜”,似乎还有套等着自己。

不过他依旧不动声色,整个人放松了姿势:“曲慧姐,你说,工件台到底怎么样了。”

“成了,但有点麻烦。”曲慧知道苏远山对光刻机倾注的心血不比晶圆厂少,此刻也不开玩笑,正色了起来:“你知道的,制约国产光刻机精度的最大敌人就是精度。”

苏远山点头:“嗯,不用你说,我就算再不懂机械也知道。”

“精度的最大问题又会最终落在电机控制,材料,加工精度上。”曲慧抿着嘴,慢慢道。

“双工件台的构想是根据华罗庚先生的统筹方法思想而来,原理就是把在曝光过程中处于等待状态下的流程先走一步。实现一个工件台曝光,一边进行测量对准等工作。等到曝光完毕,就可以不用再测量对准,从而直接就可以移动平台,然后曝光。”

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